高端光学制造
全自动探针台是晶圆制造到封装成型中芯片性能测试的重要设备,占据半导体制造流程的一半以上。其中,最核心的视觉定位系统直接决定探针台的对针精度、测量速度以及整机性能,视觉定位系统包含晶圆相机、探针相机、图像处理算法等关键模块。